大亚真空DIAVAC，真空计的特点及应用范围

在半导体制造、真空镀膜、航空航天等多元化的工业领域，真空环境的稳定性与精确性直接决定产品质量与工艺成败。作为全球真空技术领域的企业，日本大亚真空（DIAVAC）凭借80余年技术积淀，打造出以TRP-11皮拉尼真空计、TRD-10隔膜真空计为代表的精密测量仪器，为全球用户提供从粗真空到超高真空的全场景解决方案。

一、核心产品分类及技术特点

1、皮拉尼真空计（热传导型）

基于气体热传导原理，通过测量加热丝电阻变化间接计算压力。

代表型号：TRP-12/SP、TRP-11/SP

技术特点：

● 量程范围：5.0×10⁻²～1.0×10⁵ Pa，覆盖粗真空至中真空。

● 高精度：在1～100 mbar范围内精度显著高于普通膜盒式真空计，1～20 mbar时读数误差可低至±0.3 mbar。

● 简单结构：采用9针D型连接器，支持LED数码显示，重量仅120-136g，便于集成。

● 适用场景：化工、电子、电池制造等领域的真空设备压力监测。

2、组合式真空计（多传感器联动）

集成皮拉尼传感器与冷阴极电离规（CCG），实现大气压至1.0×10⁻⁶ Pa的全量程覆盖。

代表型号：PC-3DA、PT-3DA

技术特点：

● 电源兼容性：支持AC100-240V宽电压输入，适应全球不同地区电网。

● 配备6个设定点继电器，支持记录仪输出和RS485/RS422A串行通讯。

● 多显示模式可同时展示3点测量值，适用于复杂真空系统。

● 适用场景：半导体制造、高真空镀膜、科研实验等需要高精度、多参数控制的场景。

3、压电隔膜式真空计（非加热型）

基于压电效应直接测量压力，无需加热元件，响应速度更快。

代表型号：TRD-10-P12NC/TRD-10-P13NC

技术特点：

● 量程范围：TRD-10-P12NC为0-13.3 kPa，TRD-10-P13NC为0-133 kPa。

● 高精度：读数误差±0.2%，模拟输出DC0-10V，数字通讯支持RS-485。

● 防护等级：IP40，兼容SUS316L气体接触材料，适用于腐蚀性环境。

● 适用场景：工业过程控制、环境监测、医疗设备等需要快速响应和耐腐蚀的场景。

二、多元化的应用场景

DIAVAC真空计的应用范围广泛，涵盖化工、电子/电池、医疗卫生、生物产业、半导体制造及真空排气系统研发等多个领域，其核心应用场景与产品特性紧密相关，具体如下：

1、化工与电子/电池领域

● 真空工艺监控：DIAVAC真空计（如PT-3PM、PC-3DA系列）通过皮拉尼原理或复合测量技术（皮拉尼+冷阴极计），可实时监测真空干燥、蒸馏、镀膜等工艺中的压力变化，确保工艺稳定性。例如，PT-3PM的测量范围为1.3×10²〜1.3×10⁻¹ Pa，适用于电子元件制造中的真空环境控制。

● 研发支持：在化工材料合成或电池电极材料研发中，DIAVAC真空计（如DS-305T高真空排气系统）可提供精确的压力数据，辅助优化反应条件。其标准配备的皮拉尼真空计与可选的冷阴极计/电离真空计组合，覆盖从大气压到10⁻⁴ Pa的宽量程需求。

2、医疗卫生/生物产业领域

● 无菌环境控制：在医疗设备灭菌、药品真空包装或食品脱水工艺中，DIAVAC真空计（如DGC-A12显示器）通过RS-485数字通信实现自动化压力监测，确保生产过程符合卫生标准。其7段LED显示与“Pa/133.32"双单位切换功能，便于操作人员快速读取数据。

● 细胞培养与发酵控制：在生物反应器中，DIAVAC真空计（如TRD-10隔膜真空计）通过压电式非加热测量技术，避免高温对细胞活性的影响，同时其SUS316L气体接触部件可耐受腐蚀性气体，确保生物安全。

3、导体制造领域

● 高真空工艺支持：DIAVAC真空计（如TRP-11皮拉尼真空计）通过恒压测量电路与数字温度补偿技术，在半导体刻蚀、沉积等高真空工艺中提供稳定压力信号。其测量范围达5.0×10⁻²〜1.0×10⁵ Pa，覆盖从粗真空到高真空的全流程。

● 系统集成优化：通过RS-485通信接口，DIAVAC真空计可与半导体设备控制系统无缝对接，实现压力数据实时传输与自动化调节。例如，PC-3DA组合式真空计支持多达16个测量元件连接，满足复杂工艺需求。

4、真空排气系统研发领域

● 系统性能验证：DIAVAC真空计（如DS-422T/DS-435T高真空排气系统）在研发阶段用于测试油旋转泵与涡轮分子泵的协同效率，其极限压力达10⁻⁴ Pa，可模拟恶劣真空环境。

● 故障诊断工具：通过记录仪输出功能（如PT-3PM的DC 0-10mV输出），研发人员可分析压力波动曲线，定位系统泄漏点或泵性能衰减问题，缩短研发周期。

三、选型建议

1. 电子/电池制造

需求：真空干燥、注液等工序需精确控制压力。

推荐型号：TRP-12/SP（皮拉尼型）

理由：量程覆盖中真空，精度高，LED显示便于实时监测。

2. 半导体制造

需求：高真空镀膜、刻蚀等工艺需全量程压力控制。

推荐型号：PC-3DA（组合式）

理由：皮拉尼+CCG联动，支持多参数显示和串行通讯，适应复杂工艺流程。

3. 化工过程控制

需求：腐蚀性气体环境下的压力测量。

推荐型号：TRD-10-P13NC（压电式）

理由：SUS316L气体接触材料和IP40防护等级，确保长期耐腐蚀性能。

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