EKUSA 半导体药液清洗装置用加热器ECN型

EKUSA 半导体药液清洗装置用加热器ECN型

EKUSA 半导体药液清洗装置用加热器ECN型

特征：

高纯度
● 所有接触液体的部件均采用 PFA
● 无杂质洗脱
● 使用低温加热器防止化学变质
● 暴露于碱性化学品时不会变质
可靠性
● 最大使用压力：0.4MPa
● 最大使用温度：标准品为80℃，特殊规格可制造至120℃
● 内置过热报警传感器

因停电等突然停机时，温度上升约10℃。即使在高温下也可**使用
●内置漏水传感器
●抵抗流量波动和冲击
维护：
- 使用低温加热器，因此使用寿命几乎是长久的，无需更换加热器。
- 极其紧凑，因此安装很容易。

- 可有效利用现有的电气控制。

产品型号：ECN-30P、ECN-45P、ECN-60P 、ECN-90P、ECN-120P 、ECN-240P

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