RIX晶圆真空夹紧用旋转接头 半导体专用

RIX晶圆真空夹紧用旋转接头 半导体专用 EMS系列

RIX晶圆真空夹紧用旋转接头 半导体专用 EMS系列

规格：

适用流体：纯水、空气 、真空
最大压力 ：-0.095～0.6MPa
最大通路：5
最大转速：800min-1
主要途径与其特点：

在旋转托盘的冷却水IN/OUT用，晶圆真空夹紧用
空气/真空流路可能追加

应用端设备对象：精磨/粗磨、CMP装置

我司主打品牌明细表：

代理品牌：セメダインCEMEDINE施敏打硬、Nirei仁礼、KAIJO 楷捷、OHM欧姆电机、NIPPONMUKI日本无机、SUIDEN瑞电、TACMINA泰克米纳、AMANO安满能、NIDEC-SHIMPO尼得科新宝、OKK机床、AMADA天田、MRM阀、新热工业SHINNETSU、 ATAGO爱拓、YOSHIKAWA吉川铁工铆接机、大力MAXPULL绞盘

化学品：SHINETSU 信越化学、THREEBOND 三键、TOAGOSEI 东亚合成、三井化学MITSUI、KONISHI小西、

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新能源动力电池： 日本旭精工、熊谷理机